电感耦合等离子体发射光谱仪高分辨率的光学系统可实现有效的光谱干扰分离。在波长200nm处，分辨率为7pm，便于对复杂样品进行简单分析，无需过于复杂的光谱干扰处理技术.可用于地质、环保、化工、医药、食品、生物、冶金、农业等方面样品中七十多种金属元素和部分非金属元素的定性、定量分析。
等离子体(ICP)在近代物理学中是一个很普通的概念，是一种在一定程度上被电离（电离度大于)的气体，其中电子和阳离子的浓度处于平衡状态，宏观上呈电中性的物质。
电感耦合等离子体(ICP)是由高频电流经感应线圈产生高频电磁场，使工作气体形成等离子体，并呈现火焰状放电(等离子体焰炬)，达到的高温，是一个具有良好的蒸发一原子化一激发一电离性能的光谱光源。而且由于这种等离子体焰炬呈环状结构，有利于从等离子体中心通道进样并维持火焰的稳定。
较低的载气流速（低于)便可穿透ICP,使样品在中心通道停留时间达~，可蒸发、原子化：ICP环状结构的中心通道的高温，高于任何火焰或电弧火花的温度，是原子、离子的最佳激发温度，分析物在中心通道内被间接加热，对ICP放电性质影响小。
ICP光源又是一种光薄的光源，自吸现象小，且系无电极放电，无电极沾污。这些特点使ICP光源具有优异的分析性能，符合于一个理想分析方法的要求。
