石墨炉原子吸收是一个受激吸收跃迁的过程，当有辐射通过自由原子蒸气，且入射辐射的频率等于原子中外层电子由基态跃迁到较高能态所需能量的频率时，原子就产生共振吸收，是根据物质产生的原子蒸气对特定波长光的吸收作用来进行定量分析的。
1、光源。光源的功能是发射被测元素的特征共振辐射。对光源的基本要求是：发射的共振辐射的半宽度要明显小于吸收线的半宽度；辐射强度大、背景低，低于特征共振辐射强度的1%；稳定性好，30分钟之内漂移不超过1%；噪声小于0.1%；使用寿命长于5安培小时。空心阴极放电灯是能满足上述各项要求的理想的锐线光源，应用广。
2、原子化器。其功能是提供能量，使试样干燥，蒸发和原子化。在原子吸收光谱分析中，试样中被测元素的原子化是整个分析过程的关键环节。原子化器主要有四种类型火焰原子化器、石墨炉原子化器、氢化物发生原子化器及冷蒸气发生原子化器。
3、分光器。它由入射和出射狭缝、反射镜和色散元件组成，其作用是将所需要的共振吸收线分离出来。分光器的关键部件是色散元件，商品仪器都是使用光栅。
石墨炉原子吸收部件检查如何进行：
1、光谱仪部分：看灯的负高压是否处于正常范围（一般是450~650v），如果突然发现负高压特高，估计你就要检查光路了，看是否有异物挡住了光路，镜片是否有起雾结冰。此时，就需要用擦镜纸或者吹风机吹干，同时检查环境温湿度是否达标。
2、自动进样器：首先，观察自动进样器管路是否出现异常，有时一个晚上或者是更久时间不用，溶液会在自动进样器的毛细管中蒸发结晶，导致自动进样器堵塞，或者是管路不流畅。此时，在清洗过程中，仪器毛细管出水滴的速度会很慢。或者是吸水也会有延迟现象。
